
A interação do feixe de elétrons com a amostra origina uma  série de fenômenos físicos, os quais podem ser medidos por  vários detectores. Entre eles, os mais comuns detectam  elétrons
						
						-                              A.                                                  transmitidos, que indicam a composição da amostra,  e elétrons espalhados, que fornecem informações  quanto à topografia da amostra.
-                              B.                                                  transmitidos, que fornecem detalhes do interior da  amostra, e elétrons retroespalhados, que indicam a  morfologia da amostra.
-                              C.                                                  primários, que fornecem dados quanto à superfície da  amostra, e elétrons secundários, que permitem  identificar a composição e topografia da amostra.
-                              D.                                                  secundários, que fornecem informações quanto à  superfície da amostra, e elétrons retroespalhados, que  fornecem informações quanto à composição e  topografia da amostra.
-                              E.                                                  livres, que fornecem informações quanto à  morfologia da amostra, e elétrons de camadas mais  internas, que indicam a composição da amostra.