Questão número 45062

Quais as funções das curas no processamento do fotorresiste positivo, sotbake, PEB e hardbake respectivamente:

• A. Amolecimento do fotorresiste, uniformização da área exposta, endurecimento do fotorresiste.
• B. Amolecimento do fotorresiste, exposição do fotorresiste, endurecimento do fotorresiste.
• C. Uniformização da camada, endurecimento do fotorresiste, interrupção da revelação.
• D. Refluxo do fotorresiste, evaporação do solvente e inibição do foto-ácido.
• E. Evaporação do solvente e ativação do foto-ácido, refluxo do fotorresiste e inibição do foto-ácido com estabilização do fotorresiste.