Questão número 531627

Vácuo é essencial em muitas etapas da fabricação de um circuito integrado. Com relação às tecnologias de vácuo empregadas nos diversos processos de microfabricação NÃO é correto afirmar que

• A. a redução de pressão procura garantir transporte de massa sem espalhamento na deposição de filmes finos por evaporação térmica.
• B. nos processos a plasma a pureza química desse depende do pré-vácuo efetuado na câmara de processo.
• C. a composição do gás residual em um sistema de vácuo depende do tipo de bombas utilizadas.
• D. bombas iônicas são muito eficientes ao bombear gases inertes.
• E. bombas difusoras a óleo e bombas turbo-moleculares se baseiam no mesmo princípio para reduzir a pressão em uma câmara.