Questão número 565686

A elipsometria espectral pode ser utilizada para análise de oxidação e corrosão em semicondutores. Assinale a alternativa que descreve o princípio dessa técnica de análise.

• A. O espectro de emissão de fótons característicos de átomos ionizados é uma elipse característica de cada elemento ou substância.
• B. Os elétrons arrancados da superfície de uma amostra descrevem uma trajetória elíptica característica.
• C. Baseia-se a técnica na mudança de polarização da luz após a reflexão.
• D. Baseia-se a técnica na análise de elétrons Auger por um analisador elíptico.
• E. Baseia-se na absorção diferenciada da radiação polarizada em função da razão entre os eixos maior e menor de uma elipse.